在光伏產業追求高效能、低成本的發展浪潮中,TOPCon 激光摻雜設備逐漸成為提升電池效率和生產效率的關鍵設備之一。海目星憑借深厚的激光技術積淀,研發的TOPCon激光摻雜設備憑借自主技術優勢,為光伏制造工藝的優化升級提供了強有力的技術支撐。
海目星的TOPCon激光摻雜設備采用BSG(硼硅玻璃)作為摻雜源,通過獨特的工藝流程實現高效的激光摻雜。具體來說,設備首先通過擴散爐推進高硼表面濃度的P++層,但不進行氧化,以P++層作為激光摻雜源,再進行激光摻雜和氧化工藝。這一創新工藝不僅解決了硼摻濃度問題,還簡化了選擇發射極的制備工藝流程,顯著提升了生產效率。
具體參數方面,海目星的TOPCon激光摻雜設備尺寸為長×寬×高:5500×2300×2500(不包含三色燈、除塵機、冷水機),適用硅片尺寸涵蓋182*182mm-230*230mm,能夠滿足不同尺寸硅片的生產需求。在產品性能上,海目星的TOPCon激光摻雜設備碎片率率控制在≤0.02%,圖形精度和對準精度均達到±15um,確保了生產過程的高精度和高質量。產能方面,182尺寸硅片產能≥8400pcs/h(柵線數量<132),210尺寸硅片產能≥7300pcs/h(柵線數量<152),能夠滿足大規模生產的效率要求。
海目星的TOPCon激光摻雜設備以其先進的技術、卓越的性能和強大的定制能力,為光伏制造工藝的優化升級提供了有力支持。通過簡化工藝流程、提升生產效率和精度,海目星的設備不僅提高了光伏電池的生產質量,還降低了生產成本,為光伏產業的可持續發展注入了新的動力。
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